藍寶石隔膜真空計SPG系列產(chǎn)品規(guī)格書

概　要

藍寶石隔膜真空計SPG系列采用了藍寶石靜電容量式壓力傳感器、是具有高精度、高可靠性、高耐腐蝕性的小型?輕量的隔膜真空計。主要用于半導體工藝流程。

特　長

? 采樣高耐腐蝕性、高耐熱性的單晶體藍寶石

感壓部材料采用具有高耐腐蝕性、高耐熱性、機械特性優(yōu)異的單晶體藍寶石，通過靜電容量檢測方式，即使在高溫檢測環(huán)境下也可實現(xiàn)高的檢測重復性。

? 檢測誤差小

采用先進的信號處理技術、實現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測。

? 小型／輕量的本體

通過采用先進的顯微機械加工技術形成的藍寶石傳感器、實現(xiàn)了大幅度的小型／輕量化。

? 簡單的零點調(diào)整功能

通過Auto零點調(diào)整開關或Up/Down零點調(diào)整開關，可簡單地進行零點調(diào)整。

? 機器狀態(tài)顯示

通過LED顯示，可一目了然地判斷產(chǎn)品的狀態(tài)（正常、預熱中、異常）。

? 迅速啟動和穩(wěn)定的溫度控制

通過采用了微處理器的數(shù)字PID運算對加熱器進行溫度控制、實現(xiàn)了迅速啟動和穩(wěn)定的溫度控制。

? 智能編程器軟件包對應

智能編程器軟件包對應（另售 SLP-SP5J70）可方便地進行監(jiān)視和參數(shù)的讀寫。

? 符合CE

符合IEC指令、符合CE標識。（適合規(guī)格：EN61326、EN55011）

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