藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)SPG5A/6A使用說(shuō)明書

非常感謝您購(gòu)買藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)　SPG5A/6A。本使用說(shuō)明書中記載了安全及正確使SPG5A/6A的必要事項(xiàng)。

對(duì)于承擔(dān)使用SPG5A/6A的操作盤、裝置的設(shè)計(jì)、維護(hù)人員，請(qǐng)務(wù)必在閱讀并理解本書的基礎(chǔ)上使用。

此外，本使用說(shuō)明書不只在安裝時(shí)，在維護(hù)、故障維修時(shí)也是必不可少的。請(qǐng)常備此手冊(cè)以供參考。

在訂購(gòu)和使用產(chǎn)品前，務(wù)必請(qǐng)先閱讀“產(chǎn)品訂購(gòu)注意事項(xiàng)”。

概　要

藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)SPG5A/6A采用了藍(lán)寶石靜電容量式壓力傳感器的高精度，是具有高可靠性、小型、輕量的隔膜真空計(jì)?？蛇x擇有自己加熱功能的機(jī)型及無(wú)自己加熱功能的機(jī)型。有自己加熱功能的機(jī)型可選擇加熱溫度。主要用于半導(dǎo)體工藝流程。本機(jī)具有以下的特長(zhǎng)。

?感壓部材料采用具有高耐腐蝕性、高耐熱性、機(jī)械特性優(yōu)異的單晶體藍(lán)寶石，通過(guò)靜電容量檢測(cè)方式，即使在高溫檢測(cè)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高的檢測(cè)重復(fù)性。

?通過(guò)采用先進(jìn)的顯微機(jī)械加工技術(shù)形成的藍(lán)寶石傳感器、實(shí)現(xiàn)了大幅度的小型、輕量化。

?采用先進(jìn)的信號(hào)處理技術(shù)、實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測(cè)。

?通過(guò)采用了微處理器的數(shù)字PID運(yùn)算對(duì)加熱器進(jìn)行溫度控制、實(shí)現(xiàn)了迅速啟動(dòng)和穩(wěn)定的溫度控制。（有自己加熱功能的機(jī)型）

?允許寬的輸入電源電壓范圍。

?可通過(guò)Auto零點(diǎn)調(diào)整開關(guān)或Up/Down零點(diǎn)調(diào)整開關(guān)簡(jiǎn)單地實(shí)施零點(diǎn)調(diào)整。

?通過(guò)另售的智能編程軟件包SLP-SP5J60可簡(jiǎn)單地進(jìn)行監(jiān)視及參數(shù)的讀寫操作。

?備有3個(gè)事件繼電器，通過(guò)另售的智能編程軟件包SLP-SP5J60可簡(jiǎn)單地對(duì)各功能的設(shè)定進(jìn)行變更。

?符合IEC指令、符合CE標(biāo)識(shí)。（適合規(guī)格: EN61326、 EN55011）

?可通過(guò)Auto零點(diǎn)調(diào)整開關(guān)或Up/Down零點(diǎn)調(diào)整開關(guān)簡(jiǎn)單地實(shí)施零點(diǎn)調(diào)整。

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