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MCS100質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品手冊
型號MCS100是一款小型輕便、高速響應(yīng)的質(zhì)量流量傳感器,內(nèi)部搭載有出貨量達(dá)數(shù)百萬臺(tái)的獨(dú)有的MEMS傳感器。
熱式MEMS傳感器搭配低壓力損失的流路,能實(shí)現(xiàn)以5ms的高速響應(yīng)測量10L/min以下的氣體質(zhì)量流量。
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