TESCOM? 23系列無螺紋調壓閥
23 系列超高純度直通式調壓器具有 10 Ra 微英寸的光潔度,且流通能力高達 950 SLPM。 23 系列使用束縛閥膜,采用內部無彈簧且無螺紋設計,進口壓力為 250 psig/17.2 bar,出口壓力可達 100 psig/6.9 bar。
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23 系列超高純度直通式調壓器具有 10 Ra 微英寸的光潔度,且流通能力高達 950 SLPM。 23 系列使用束縛閥膜,采用內部無彈簧且無螺紋設計,進口壓力為 250 psig/17.2 bar,出口壓力可達 100 psig/6.9 bar。
TESCOM? 23 系列無彈簧無螺紋調壓閥
23 系列超高純度直通式調壓器具有 10 Ra 微英寸的光潔度,且流通能力高達 950 SLPM。 23 系列使用束縛閥膜,采用內部無彈簧且無螺紋設計,進口壓力為 250 psig/17.2 bar,出口壓力可達 100 psig/6.9 bar。 非常適用于高流量直通式壓力調節(jié),尤其是吹掃應用的理想選擇。
規(guī)格
特點
光滑、無阻礙的流道,可進行全面的吹掃
由于采用無彈簧和無螺紋結構,因此可最大程度地減少顆粒的產生
全面關閉密封帶有可定位閥蓋
閥膜與閥體密封之間采用金屬對金屬設計,提供一流的密封性
符合 SEMI F19、UHP 等級要求
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