FS-3000 結(jié)合了 HORIBA STEC 的質(zhì)量流量控制器 (MFC) 和 MuCube（主控制器）。通過從搭載了HORIBA STEC專有控制算法的MuCube控制MFC，F(xiàn)S-3000實現(xiàn)了穩(wěn)定的分離控制。

特征

該控制算法通過控制流量比實現(xiàn)穩(wěn)定的流量分流控制，同時利用HORIBA STEC獨創(chuàng)的控制優(yōu)化技術(shù)控制FS-3000上游壓力。此外，即使分流比發(fā)生變化，控制算法也可實現(xiàn)對流量分流的高速響應。

• 提高可擴展性、維護性能 FS-3000 通過高速信號處理支持拆分多達 15 個流道。當 MFC 發(fā)生故障時，F(xiàn)S-3000 只需更換故障的從機即可修復。

• 對所需規(guī)格的靈活響應 FS-3000 支持多種氣體，包括混合氣體。此外，F(xiàn)S-3000 支持 RS-485、DeviceNet 作為用戶接口。

規(guī)格

*各通道的響應時間以本產(chǎn)品流量輸出達到流量設(shè)定變化量的98%時的響應時間計算。最慢的響應時間是分流器的響應時間。

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