壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

這種先進的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊安裝有壓差檢測和壓電執(zhí)行器閥。

CRITERION D500 提供的高水平性能確保它可用于一系列先進的半導(dǎo)體制造工藝；壓力不敏感，多范圍/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能，高精度，快速響應(yīng)，范圍廣，全金屬。 

特征

• 壓力不敏感性
  能 新的高性能壓力不敏感功能提供了簡化的供氣系統(tǒng)

• 多量程、多氣體、多壓力解決方案
  新功能允許用戶更改氣體類型、滿量程流量和供應(yīng)壓力范圍

• G-LIFE（集成流量限制器方程的氣體定律檢查）自診斷功能
  先進的過程健康監(jiān)測功能允許操作員進行自己的測試，通常在三秒或更短的時間內(nèi)提高吞吐量

• 高精度
  通過先進的三維調(diào)整提高了工藝氣體的流量精度

• 快速響應(yīng)
  響應(yīng)：<0.8秒
  可實現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制 

• 動態(tài)范圍
  寬控制范圍：0.2% FS 至 100% FS

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