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DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術(shù)——一種用于層流粘性流動(dòng)范圍的壓差檢測系統(tǒng)。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)可高精度控制各種氣體的質(zhì)量流量。
DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術(shù)——一種用于層流粘性流動(dòng)范圍的壓差檢測系統(tǒng)。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)可高精度控制各種氣體的質(zhì)量流量。與 D500 一樣，用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應(yīng)用。MFC緊湊的設(shè)計(jì)減少了內(nèi)部氣體流路的內(nèi)部體積，優(yōu)化的控制算法提高了響應(yīng)特性。它采用具有高處理能力的緊湊型CPU，壓電驅(qū)動(dòng)電路和控制CPU安裝在MFC模塊中，而電源部件則裝在一個(gè)單獨(dú)的小型控制箱中。通過使用專用的微型連接器連接它們，最多可以控制四個(gè) MFC 模塊。
特征
快速響應(yīng)（≦0.4秒）
重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊（寬度：10mm，高度：99mm）
擴(kuò)大工作供應(yīng)壓力范圍
規(guī)格
| 模型 | DZ-114S | |||||
| 規(guī)格 | H | 米 | 大號(hào) | |||
| 滿量程流量（N2換算流量） | 80SCCM~2.9SLM | 53SCCM~1.7SLM | 11 SCCM ~ 450 SCCM | |||
| 工作入口壓力 | 370 ~ 900 kPa (A) | 240 ~ 369 千帕 (A) | 110 ~ 239 千帕 (A) | |||
| 工作壓差 | > 350 千帕 (D) | > 240 千帕 (D) | > 110kPa (D) | |||
| 下游工作壓力 | ≦ 13.3 kPa (A) | ≦ 53.3 kPa (A) | ≦ 13.3 kPa (A) | ≦ 53.3 kPa (A) | ≦ 13.3 kPa (A) | ≦ 53.3 kPa (A)) |
| 控制范圍 | 1.0 ~ 100% 滿量程 | 2.0 ~ 100% 滿量程 | 2.0 ~ 100% 滿量程 | 4.0 ~ 100% 滿量程 | 5.0 ~ 100% 滿量程 | 10 ~100% 滿量程 |
| 流量精度*1、*2 | ±0.5% SP (20 ~ 100% 滿量程) ±0.1% 滿量程 (1 ~ 20% 滿量程) | ±0.5% SP (40 ~ 100% 滿量程) ±0.2% 滿量程 (2 ~ 40% 滿量程) | ±1.0% 滿量程 (5 ~ 100% 滿量程) | |||
| 偏移量/跨度穩(wěn)定性 | ±0.5% 滿量程/年 | ±1%滿量程/年 | ±5%滿量程/年 | |||
| 重復(fù)性*1 | ±0.3% SP (10 ~ 100% FS) ±0.03% FS (1 ~ 10% FS) | ±0.3% SP (20 ~ 100% FS) ±0.06% FS (2 ~ 20% FS) | ±0.3% SP (20 ~ 100% FS) ±0.06% FS (2 ~ 20% FS) | ±0.3% SP (40 ~ 100% FS) ±0.12% FS (4 ~ 40% FS) | ±0.3% SP (5 ~ 100% 滿量程) | ±0.3% SP (10 ~ 100% 滿量程) |
| 閥門類型 | 常閉/壓電執(zhí)行器 | |||||
| 升壓流量響應(yīng)時(shí)間 *3,*4 | ≦ 0.4 秒 | |||||
| 閥座泄漏 | < 0.5% 滿量程 | < 1.0% 滿量程 | < 2.0% 滿量程 | |||
| 耐壓 | 1.0兆帕（安） | |||||
| 泄漏完整性 | ≦ 5.0 × 10-12 Pa m3/sec (He) | |||||
| 接液材料 | SUS316L、鎳合金、PFA、PCTFE | |||||
| 工作溫度 | 15~45℃ | |||||
| 貯存溫度 | 0~80℃ | |||||
| 安裝方向 | 態(tài)度麻木 | |||||
| 測溫精度 | ±1°C (15~45°C) | |||||
| 預(yù)熱運(yùn)行時(shí)間 | > 30 分鐘 | |||||
| 控制接口*5 | DeviceNetTM協(xié)議 | |||||
| 電源 | Master 1 PC, Slave (DZ-114S) 1PC : 8.2 VA (Slave 4.8 VA/PC) Up to 4 Slave can be connected | |||||
*1 流量精度和可重復(fù)性僅針對(duì)校準(zhǔn)氣體和校準(zhǔn)滿量程得到保證。（出口 < 13.3 kPaA） *2 保證“精度”的溫度范圍符合 SEMI：E56-0309。 *3 穩(wěn)定時(shí)間是 MFC 輸出信號(hào)和 N2 氣體。其他詳細(xì)定義遵循 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) E17-1011 第 4.1.4 節(jié)的建立時(shí)間。 *4 升壓響應(yīng)時(shí)間在制造校準(zhǔn)條件下確認(rèn)。實(shí)際響應(yīng)時(shí)間將取決于氣體、流量和壓力。 *5 有關(guān)通信的詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱“DZ-114S DeviceNet? 通信手冊”。 | ||||||
| 模型 | DZ-104M |
| 工作溫度 | 15 ~ 45°C |
| 貯存溫度 | 0 ~ 80℃ |
| 安裝方向 | 態(tài)度麻木 |
| 控制界面 | 屏蔽型微型連接器 (M12)，DeviceNetTM 協(xié)議 |
| 連接接口 | 4 端口互鎖位置：主體底部 |
DZ-104M 屏蔽型微型連接器 (M12)
| 密碼 | 信號(hào)名稱 | 規(guī)格 |
| 1個(gè) | 流走 | - |
| 2個(gè) | V+ | 11-25 VDC，額定電壓：24V |
| 3個(gè) | V- | |
| 4個(gè) | CAN_H | DeviceNetTM協(xié)議 |
| *在一系列操作中，使用額定電壓。使用符合 ODVA 的電源和電纜。 | ||
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