橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)5850E 和 i 系列

        經(jīng)驗(yàn)證具有極高靈活性，能夠滿足各種質(zhì)量流量測(cè)量需求。

        布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)和控制器將工藝所需的準(zhǔn)確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合，是一種能夠?yàn)槟峁└呔刃阅芎烷L(zhǎng)期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟(jì)有效的測(cè)量?jī)x器。結(jié)果：使運(yùn)營(yíng)投資價(jià)值和回報(bào)最大化。

設(shè)備具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性，可確保完成生產(chǎn)目標(biāo)

型號(hào) 5850E, i / 5851E, i / 5860E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i

        每條產(chǎn)品線都有主力設(shè)備型號(hào) — 而我們的 5850E 和 5850i 系列熱式質(zhì)量流量控制器完全符合主力設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)。該產(chǎn)品數(shù)十年來(lái)廣泛用于世界各地的各種應(yīng)用，其采用獨(dú)有的超穩(wěn)定流量傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠、準(zhǔn)確、可重復(fù)的測(cè)量和控制以滿足當(dāng)今工業(yè)制造工藝苛刻的需求。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過(guò)程

• 實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

• 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

• 薄膜氣相沉積

• 熱處理、切割等其他熱過(guò)程

• 真空應(yīng)用

選擇最適合自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

特點(diǎn)

• 長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 0.2%

• 能夠根據(jù)命令變化迅速進(jìn)行流量響應(yīng)并且過(guò)沖/下沖可忽略不計(jì)

• 流量范圍寬 - 從3 sccm 一直到1000 slpm

• 耐高壓等級(jí) - 高達(dá) 1,500 psi

• 可拆卸式流量傳感器

• 不受安裝角度影響

• 能和其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計(jì)方面兼容

• 電驅(qū)動(dòng)閥超調(diào)

• 耐化學(xué)腐蝕閥門

優(yōu)勢(shì)

• 在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認(rèn)可的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性

• 由于性能可靠，因此投資回報(bào)率出眾

• 采用可拆卸式流量傳感器，因此無(wú)需對(duì)氣壓進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)節(jié)

• 由于模擬量?jī)H為輸入/輸出，因此易于安裝和保養(yǎng)

應(yīng)用

• 化學(xué)品和石化催化劑研究和試驗(yàn)工藝

• 實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

• 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

• 太陽(yáng)能

型號(hào)

規(guī)格

性能

等級(jí)

機(jī)械

診斷

電氣

承諾