高溫質量流量控制計5850EMH系列

可滿足高溫苛刻條件應用需求的高純度流路

        現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實現(xiàn)了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。

關鍵應用

• 光纖制造 - MCVD

• 硅材料半導體器件加工工藝

1. CVD（蒸汽形式的前體輸送）

2. 剝落（水蒸氣）

3. 腐蝕（水蒸氣鈍化）

頁面副小標題 - 已被驗證的長期穩(wěn)定性，高溫應用中超高純表現(xiàn)

型號 5850EMH / 5851EMH

        來自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了最先進的性能，具有多種選擇，允許最大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

特點

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）

• 寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）

• 高純度 VAR 316L 不銹鋼

• 無磨粒

• 氦泄漏檢查端口

• 常閉閥（可選常開閥）

• 電致動閥復位

• 低命令流量斷流

• TTL 兼容"關閥"功能

優(yōu)勢

• 穩(wěn)定、可靠的產品平臺

• 高流量，高達 100 lpm（N2 當量）

• 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏

• 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應用

• 光纖制造——MCVD，OVD，AVD

• 水汽流量控制

型號

規(guī)格

性能

機械

等級

電氣